二手 RAMCO Ram 5 #62126 待售

RAMCO Ram 5是半导体工业中使用的最先进的蚀刻和灰化机。它是一种健壮、快速、精确的工具，用于蚀刻和灰化诸如IC、MEMS和其他微电子元件等精细元件。Ram 5提供同类产品中最高的蚀刻和灰化性能,最大限度地利用正常运行时间、准确性和可重复性。RAMCO Ram 5具有自动装卸机制,可处理10 "x 14"以下的部件。主室增加了可用于装卸多达8个"x 12"零件的体积。该设备设计为在高达400°C的温度下运行，工艺压力高达10 Torr。对于需要惰性大气的应用，可以选择氮气。此外,射频蚀刻和灰化工艺允许独立优化蚀刻和灰分轮廓以提高产量。Ram 5配备了功能强大的过程控制器和触摸屏显示屏,可提供手动和自动化操作。它最多可在250个步骤中存储10种食谱，并具有用户友好的界面。控制器还支持PC连接集成电路测试仪，以及自动化计量，可以精确处理可重复蚀刻和灰化结果。该工艺气体输送系统确保了精确的操作，并产生了可重复的蚀刻和灰分结果。它还有一个集成先进的数字过程控制单元，用于保持温度、压力和流量恒定。此外，这台机器还配备了一个双口袋集成的颗粒过滤工具，可以清除加工气体中的任何颗粒污染。RAMCO Ram 5是一款专业级蚀刻器和asher,在安全性、可靠性和性能方面均符合并超过行业标准。它受到各个行业的信赖，可用于薄膜和互连层的蚀刻和灰化、图桉化、成像等多种应用。Ram 5具有先进的工艺控制、高精度和可重复性,是半导体制造业高产、经济高效的工艺的理想工具。