二手 RAMCO RAM8500-II #293625752 待售

RAMCO RAM8500-II Asher/Etcher是一款高性能等离子体处理设备,提供卓越的性能、前所未有的灵活性和卓越的可控性。该单元结合一个新的集成控制系统提供蚀刻和灰化功能，该系统共同提供对基板加工的精确控制。它能够在一系列薄膜和厚膜上执行精确的蚀刻和灰化功能。RAM8500-II利用增强的等离子体源和处理模式，产生高均匀度的蚀刻、清洗和灰化操作。综合控制单元和处理参数提高了处理的整体一致性和准确性；最先进的图形用户界面允许操作员快速轻松地输入处理参数。此外，该单元可以被编程为自动执行复杂的蚀刻、灰化和清洗序列。RAMCO RAM8500-II可以在蚀刻或灰化模式下运行各种气体。对于蚀刻和灰化过程，RAM8500-II可以在各种腐蚀性和氧化蚀刻和灰化反应（例如F2、O2、N2和Ar）中处理薄膜。该装置还能够使用惰性惰性气体（例如Ar、He和N2）进行蚀刻、清洁和灰化操作。RAMCO RAM8500-II具有广泛的处理功能,允许用户根据基板和应用程序的要求来定制其工艺。集成控制机器和过程参数允许用户精确控制等离子体处理参数，允许更大的过程控制和可重复性。该单元可用于广泛的薄膜蚀刻和灰化操作，如隔离蚀刻、浅沟隔离（STI）蚀刻、抗剥离和灰化以及多层金属（MLM）蚀刻和灰化。RAM8500-II Asher/Etcher在一系列薄膜蚀刻和灰化系统中提供了最大的测量精度和控制。利用其改进的等离子体源和集成软件，它为用户提供了对蚀刻/灰化过程的精确控制，允许具有高精度和重复性的可重复结果。因此，RAMCO RAM8500-II非常适合广泛的薄膜蚀刻和灰化应用。