二手 RENA CSE 150 #9225143 待售
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ID: 9225143
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
Cassette spray etcher, 6"
Wafer cassettes, 6"
Does not include SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD)
Qty / Make / Model / Description
(1) / GEMU / - / Valve block assembly
(4) / PLASTIC TECHNOLOGIES / Removal heads
(5) / GEMU / - / Membram sets
(2) / DI-SORIC / - / Fork light cabinets
(2) / GEMU / TYP 640 / Ventilantriebs
(1) / MEGGIT / CVS100 M2 / Vibrationsschalter
(8) / SKF / Explorer 6210-2RS1 / Ball bearings
(2) / - / - / Membranes
(25) / SPRAYING SYSTEM / Nozzle sets / Plastic holders
(2) / MADLER / 16681900 / Drive belts
(1) / FESTO / 19199 / Air cylinder
(1) / ALMATEC / - / Pump part
(2) / RENA / 20705 / Fan jet nozzles
(3) / RENA / 34601 / Duses
(10) / RENA / 2085227 / Locking plates
(1) / ENTEGRIS / - / PFA Elbow fitting
(4) / - / - / O-Rings
(2) / - / - / Adapter carriers, 4"
2001 vintage.
RENA CSE 150是一种蚀刻器/asher，专门为最多150个晶圆的小批量设计。它提供了统一、一致的蚀刻工艺，非常适合精密蚀刻应用。配备温控浸泡蚀刻罐和两级冲洗系统。第一阶段用循环加热的清洁液去除表面污染，第二阶段用纯净的热水冲洗掉任何残留。CSE 150有一个可以在0-50°C设置的加热元件，具有精确的温度控制以获得可靠和一致的蚀刻速率。可以将蚀刻罐设置为手动或自动填充模式,以实现最大的灵活性和控制。该装置还具有监测蚀刻剂浓度和跟踪蚀刻进展的先进系统。RENA CSE 150全程由重型不锈钢构成，专为长期运行而设计。它有一个封闭的设计，防止灰尘和其他颗粒，允许一个干净的蚀刻环境。该单元用途广泛，与各种蚀刻剂兼容。它还具有用户友好的界面和图形显示，使其易于控制和监控蚀刻过程。CSE 150经过测试和认证，符合所有主要半导体制造商的标准和规格，使其成为蚀刻高精度元件的理想选择。RENA CSE 150凭借其坚固的设计和高质量，将在未来几年提供可靠的运行和一致的结果。
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