二手 RF SERVICES RFS 500 #75542 待售

RF SERVICES RFS 500 蚀刻器/asher是一种专为工业级工艺而设计的离子蚀刻和灰化装置。该装置有助于聚酰亚胺基板上氧化铬薄膜的生产，适用于半导体等相关行业。它配有两个阴离子管和两个阳离子管，非常适合蚀刻和灰化过程。它可以同时提供高达10nm/min的蚀刻速率和高达5nm/min的蚀刻速率。RFS 500利用13.56MHz的射频提供具有相应高反应率的高功率电平。其高功率功能确保了薄膜的快速高效蚀刻,有助于最大限度地减少停机时间并最大限度地提高生产效率。该装置还为阴离子和阳离子提供可调节的流量，从而可以精确控制蚀刻和灰化过程。它还具有集成的射频发生器，因此用户可以轻松调整输出频率，以确保准确的结果。RF SERVICES RFS 500的设计考虑到了用户的安全和便利,配备了宽敞的工作机柜,既防尘又耐热,从而减少了污染的可能性。它的低噪声结构允许它在紧密的制造环境中使用，确保生产过程平稳运行。蚀刻器还附带一个专门的软件包，让用户可以轻松监控蚀刻过程，这样他们就可以优化自己的生产，确保自己的基材满足最高的质量要求。总体而言，RFS 500是一个高性能的离子蚀刻/灰烬系统，提供高功率反应性、无尘和耐热结构、可调流量和频率的组合，以及直观的软件包，以确保准确高效的生产过程。