二手 RUIMING HESL012 #9356202 待售

瑞明HESL012是一种使用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术的蚀刻器/灰化器。该设备设计用于生产氧化膜、多晶硅膜和其他用于集成电路应用的薄膜材料。它拥有200毫米× 200毫米的金属托盘面积和高达40KHz的高频电源。电源可设置为最大1080W,气体系统可设置最大流量250 SCCM（标准立方厘米/分钟）。此外，它还能够运行等离子体蚀刻模式、离子蚀刻模式、离子掺杂模式等多种进程模式。PECVD蚀刻过程利用反应性或惰性气体通过在腔室级施加高频功率来产生等离子体。气体被电离，其化学和物理活动分解底物和二氧化硅层之间的键以形成均匀致密的氧化物涂层。要创建足够的氧化层，可以根据所需的结果调整几个工艺参数。这些包括功率水平、压力、气流等，允许精确控制薄膜厚度、表面粗糙度以及氧化物的其他性质。HESL012 蚀刻器/asher还具有真空泵、热电偶和温度控制功能。真空泵有助于反应室的疏散，使其能够正常工作。热电偶测量基板的表面温度，而温度控制单元调整室内温度以维持所需的结果。这款蚀刻器/asher配有水冷和空气过滤系统，有助于保持机器温度并提供安全的工作环境。总之，瑞明HESL012蚀刻机是一种结合了先进PECVD技术的强大而精确的机器。在生产优质氧化膜等集成电路薄膜材料时，有效地兼顾了蚀刻退火任务。除了对微尺度结构进行高效处理外，还提供了出色的安全特性。