二手 SAAN SPNP-2200-01000XZ #9283923 待售

SAAN SPNP-2200-01000XZ是一种高端蚀刻器/灰化器，可以进行广泛的蚀刻和气相沉积过程。它具有坚固的设计，具有高效的12 kW负载功率，可调加热区，工作区容量可达30升，可编程工作面旋转，可调节旋转轮，易于操纵。SPNP-2200-01000XZ还拥有可靠的石英管粉碎机，用于固体基材加工。对于蚀刻工艺，SAAN SPNP-2200-01000XZ配备等离子体压力、能量和载荷电流的多级控制，以确保较高的材料去除率和元件精度。该蚀刻器与一个可选的石英蚀刻室配对，以提供额外的功率和精度。此外,SPNP-2200-01000XZ还具有独特的气体安全联锁系统（GSI）,可防止整个过程中出现意外气体泄漏。对于气相沉积过程，SAAN SPNP-2200-01000XZ可以通过定制的石英管灰化器输送材料进行溅射或蒸发沉积。其可调的软件和硬件使用户能够控制基板温度、电流密度、沉积速度以及粒型尺寸和形状。此外，消火器提供精确的温度和浓度控制反应物气体与强大的传感器和仪器的湿度，压力，和流动。SPNP-2200-01000XZ还提供广泛的支持服务,包括预防性维护、故障排除、流程优化和保修。SAAN SPNP-2200-01000XZ通过其顶级特性和功能,非常适合各种蚀刻和加热沉积过程。