二手 SAMCO FA-1 #9279755 待售

SAMCO FA-1
製造商
SAMCO
模型
FA-1
ID: 9279755
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Etcher, 6" 1996 vintage.
SAMCO FA-1是一种全自动蚀刻和灰化机,设计用于优越的基板清洁和去除涂层。采用低温氧化和蚀刻/灰化方法,采用两步清洗工艺,提供优良的底物清洗和涂层去除。氧化过程利用高频、低功率电流在基板表面形成均匀的氧化层。然后,蚀刻/灰化过程利用真空操作等离子体源的高温高压等离子体射流去除氧化产生的氧化层。这种方法即使是最难到达的表面也能非常有效地去除氧化物。FA-1能够在高达1000 °C的温度下在平面和非平面基板上蚀刻/灰化。温度范围为0°C ~ 1000 °C,可变循环时间为20、40、60或80分钟。该系统还提供了-1000 ~ 1000 mbar的可变蚀刻/灰度压力范围,这使得SAMCO FA-1各种蚀刻和灰度应用的理想选择。FA-1的腔室尺寸为60毫米x 480mm,为不同尺寸的基板的蚀刻和粉刷提供了充足的空间。SAMCO FA-1是一种快速有效的蚀刻/灰化溶液,提供出色的基板清洁和涂层去除。它是一个可靠、自动化的系统,具有最高的产品性能和安全标准,同时节能。FA-1是任何需要进行基板清洁和去除涂层的蚀刻或灰化应用的理想选择。
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