二手 SAMCO ICP -RIE-212ip #9135826 待售
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SAMCO ICP -RIE-212ip Etcher/Asher是一种先进的蚀刻装置,设计用于沉积和金属掩蔽操作的高精度蚀刻。这种装置是溷合蚀刻/灰化技术,结合等离子体蚀刻技术和使用反应性离子蚀刻(RIE)的能力。这项技术非常适合许多设备制造应用,并且在蚀刻或灰化时可实现高精度和高精度。ICP -RIE-212ip具有许多独特的功能,可帮助提高准确性、重复性和性能。这些特点包括一个V型凹槽蚀刻室、可调节的腔室温度、一个用于监测蚀刻进度的石英窗口以及一个用于控制蚀刻均匀性的远程离子源。这种蚀刻器/灰化器还与各种源气体兼容,可以配置为采用直或弯曲的淋浴头设计。SAMCO ICP -RIE-212ip具有多项功能,可帮助确保安全和用户舒适。这些特点包括射频阻抗匹配设备、安全互锁以及允许多达95%的副产品从蚀刻室中排出的排气歧管。此外,该装置还配备了双级真空泵,确保了一致的蚀刻速率和工艺保真度。那些希望使用ICP -RIE-212ip Etcher/Asher进行蚀刻或灰化需求的人会很高兴地发现它对用户友好且易于操作。该装置设置为独立系统在集成的免提激光蚀刻室,具有易于使用的HMI控制单元。此外,该设备还配备了直观的软件机器,用于蚀刻室操作和循环编程,从而实现最大限度的控制和易用性。总体而言,SAMCO ICP -RIE-212ip Etcher/Asher是一款功能强大的设备,专为高精度蚀刻和灰化操作而设计。其先进的技术、安全特性和用户友好的设置使其成为那些在不牺牲安全性的情况下寻求精确结果的人的理想选择。凭借其直观的软件工具和可调节的参数,这种设备允许最大程度的控制,准确性,和重复蚀刻和ashing操作。
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