二手 SAMCO PC-1100 #293802272 待售

SAMCO PC-1100是一种针对半导体工业中先进的微制造工艺而设计的蚀刻和灰化机。其先进的蚀刻和灰化能力、高吞吐量、高精度和可重复性,以及先进的控制设备,使其成为各种设备制造过程的理想选择。这台机器的核心是获得专利的蚀刻头，它可以支持广泛的蚀刻和灰化技术，包括化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、电子回旋共振（ECR）、磁控溅射和湿蚀刻。蚀刻头配有适当的加热器，以协助统一蚀刻和/或灰化。提供的5轴级、带自动对焦导航系统的显微镜和车载扭矩发生器进一步促进了PC-1100蚀头的设置和使用。SAMCO PC-1100能够蚀刻尺寸小至50 nm的结构和特征,在最短的时间内促进精确的目标制造。该设备获得专利的Easy Setup Wizard确保了为目标编程蚀刻参数时的简便和准确性,使设计人员能够轻松地快速制造设备结构。机器还可以被编程为具有高度重复性的蚀刻，消除了需要多个周期的蚀刻以达到所需的设备特性。PC-1100还具有一个多区域温度控制器，用于在蚀刻过程中控制基板和腔室温度。此外，多区控制器还为控制蚀刻斜率提供微调能力，这对于高端蚀刻应用至关重要。SAMCO PC-1100还支持一套全面的安全功能，包括高压水探测工具、惰性气体控制资产、腔室压力监测模型和真空监测设备，以确保操作员的安全和设备保护。总之，PC-1100是一种采用先进技术制造的先进蚀刻和灰化机，具有更高的吞吐量、更高的制造精度和可重复性。它为制造复杂复杂的器件结构提供了可靠、简便的方法，非常适合用于复杂的半导体器件应用。