二手 SAMCO PD-200D #9048861 待售

SAMCO PD-200D
ID: 9048861
Sputtering system Application: DLC Film molding.
SAMCO PD-200D 蚀刻器/asher是一种精密蚀刻/灰化机,设计用于各种实验室和制造应用。它能够精确蚀刻或粉刷各种材料,包括玻璃、硅、金属和塑料。蚀刻器/灰化器利用其先进的设计,利用感应耦合的等离子体源产生高能反应性离子和气体,这些离子和气体可以快速、准确地蚀刻或灰基。该机器采用刚性框架,由外铝压铸外壳组成。为确保最大精度和控制,腔室内部经过精确加工,达到0.5微米的平坦度规格。腔室配有阻抗匹配、高速真空泵和真空线,可靠、可重复运行。该机还具有多种控制系统。等离子体由一个PID环路控制,该环路在幅度和频率上都可以用模拟/数字仪表调节。位于蚀刻室内部的基板支架可以调整倾斜和旋转角度,可以容纳各种形状和尺寸,用于定制蚀刻。这些设备还配备了一个计算机控制的计时器,用于精确的蚀刻和灰度计时,可调间隔最多999分钟。蚀刻器/asher的最高工艺温度为200摄氏度,压力范围为0.1-25 torr。它可以处理多达24 "x 24"的基板,并能达到每分钟高达11厘米平方的蚀刻/灰化速度。利用工艺温度、压力和真空水平控制,机组还可以将蚀刻/灰度时间保持在最小。PD-200D 蚀刻器/asher是一种功能包装的机器,旨在满足实验室或制造应用的需要。其精密与控制的结合,使其成为各种材料蚀刻和灰化的理想选择。
还没有评论