二手 SAMCO PD-200D #9048862 待售

SAMCO PD-200D是专门为半导体和电子制造中的高质量蚀刻和灰化应用而设计的蚀刻/灰化器。这种模型是一种双腔室的基准设备，可同时使用湿法和干法蚀刻和灰化工艺以及集成的输送和工艺控制系统。PD-200D系统具有密闭蚀刻室，可进行高精度蚀刻和灰化，并具有精确的温度控制和过程监控。它以高通量速率提供高质量的蚀刻或灰化表面，具有较高的重复性，可与包括氧气、氙气、六氟化硫、氢氧化铵、盐酸等多种气体和化学物质一起使用。该单元还采用先进的流程流控制技术,通过可为用户的特定需求量身定制的流程配方来实现最佳的灰化性能。利用易于使用的软件和数据采集功能,用户可以存储或传输配方以及配置流程参数。SAMCO PD-200D还包括气体和仪器验证以及过程监测和记录,以确保最佳的过程性能和准确性。在蚀刻室中，金属和陶瓷基板可以在真空中加工，允许对小或难以到达的区域进行高精度蚀刻和灰化。该蚀刻室采用负载锁，可最大限度地减少气体和化学物质的损失，并通过可编程的剖面控制流量，以满足用户的需要。用真空计控制压力，机器配备质量流控制器，精确测量和控制气体分布。灰烬室配有PC控制的可编程热有机蒸气源，允许在细腻的基板上进行精确、可重复的灰烬处理。腔室由温度控制，可调范围介于0°C和200 °C之间。总体而言,PD-200D的设计符合质量蚀刻和灰化的最高标准,具有精确的工艺控制、高吞吐量和卓越的可重复性。