二手 SAMCO PD-200D #9155559 待售
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ID: 9155559
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Automated ion assisted PVCVD systems, 8"
Etching and deposition of Carbon films
DLC Deposition rate: 20-30um per hour
Anisotropic etch rate: 0.25u per min
Active substrate temperature control
Compound turbo main chamber
Auto chamber lift
Xinix 1014 Endpoint detector
Chemical series Osaka TG-713M 600 lps
(3) MFC Gas lines
Luxtron 712 Fluroptic thermometer
Sierra 5000 Gas leak detector
Techware TC-111 process controller
13.5 6MHz solid state generator
Iwatsu SG-4101 RF power pulse generator
Komatsu DR 621 Isothermal bath temperature controller
Luxtron 712 Fluoroptic thermometer
Luxtron 1015 End point controller
Mitsubishi NF-SF Pressure lugs for circuit breaker
Baratron type 622A, 627A and 628A capacitance manometers
Neslab RTE-111D Refrigerated bath / Circulator (Chiller)
5RK90GU-AMUL Electromagnetic brake motor
TKC REX-F900 Temperature controllers for source MFC and oven
Sentry 5000 Gas monitoring system
641PM-26P1-X Adaptive pressure controller
64244-PE52-X Control gate valve
Gases: Nitrogen (N), Argon (Ar), Oxygen (O2) for etching DLC films CF4
20-1000 Watts
Power: 10.8 KVA 3Φ 208V AC
4.6 KVA 1Φ 115V AC
1996 vintage.
SAMCO PD-200D etcher/asher是一种可靠的尖端批量制造设备,非常适合大批量生产微调零件。该系统由具有集成蚀刻工具的高性能AMEC机械臂、微处理器控制的酸性蒸气生成室和具有内置安全特性的主体单元组成。AMEC机械臂的设计能够准确可靠地处理所有蚀刻过程，如晶圆表面刮擦、切割凹槽、孔、脊和微调形状。其设计可确保零件被精确蚀刻到所需的深度和形状,而不会受到任何底切或其他有害影响。机器人的高重复性确保了同一部分可以在多个运行中蚀刻。微处理器控制的蚀刻室使用快速抽水、清洁房间级的酸性蒸气，以小至0.2 µm的间隔确保重复精确蚀刻。该腔室采用快速充酸设计，可快速重新启动和不间断的长期生产运行。它的设计确保酸性蒸气以精确的速度释放，防止蒸气粘附在零件上，以及危险的过饱和。PD-200D设计具有操作员和机器人手臂的安全功能。主体单元是一个完整的水冷不锈钢外壳，内置离子和气体管理系统，以防止极端元素和污染物。封闭式控制装置配有电气安全证书，为安全起见，不断监测蚀刻室内的酸含量。还包括各种安全传感器，以提供警报或关闭机器，以满足维修或操作员的需要。SAMCO PD-200D工具作为一种通用的、生产级的蚀刻器/灰化器，非常适合大容量的金属蚀刻和灰化。它是可靠的设计,可确保精密、可重复性和安全性地生产经过微调的零件。
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