二手 SAMCO PD-2400L #9267235 待售

SAMCO PD-2400L是一种通用的离子蚀刻器/aser,能够为客户指定的基板执行蚀刻过程。它配备了可调频的射频电源，用于精确掺杂，使其能够在广泛的功率范围内蚀刻。该设备采用气体溷合系统和先进的计算机控制喷射装置，可对反应性气体部件进行精确的流量控制。该PD-2400还提供各种清洁选择，包括等离子体、高压清洗和湿式化学选择。PD-2400的射频源由一系列连接到超低噪声直流源的调谐电容器组成。这样可以调节射频频率,范围从600kHz到4.5MHz,使量身定制的蚀刻能够满足客户流程的标准。可调射频源可产生高达2400W的功率,输出电平可在0-100%之间调节。PD-2400的供给机能够为化学蚀刻过程提供各种各样的气体。这些包括氧气、氮气、六氟化硫等。该工具还能够溷合气体，每个组件的流量都得到精确控制。这使得这一过程更有效率和成本效益。资产具有蚀刻过程的标准PC控制功能，允许用户对蚀刻参数以及输入和输出参数进行编程。用户界面还便于监视当前蚀刻周期,以及启动和停止进程或设置特定参数。此外，PD-2400L还配备了多种有用的安全功能。其中包括一个自动关闭模型，如果发生任何问题，将关闭设备的电源，以及一个防止电离粒子堆积的电离探测器。此外，系统的侧盾设计用于保护工作区域免受蚀刻过程中泄漏的腐蚀性气体的侵蚀。SAMCO PD-2400L是一种多功能的蚀刻器/aser,能够使用各种气体组件执行各种蚀刻过程。可调谐的射频频率和可调节的功率保证了精确的蚀刻，而安全特性和用户界面的阵列使得这个单元成为任何蚀刻项目的绝佳选择。