二手 SAMCO PD-270STA #9055166 待售

SAMCO PD-270STA是为微电子制造工艺而设计的高质量蚀刻器/asher。它是一种结合等离子体蚀刻和反应性离子蚀刻技术的高效可靠的工具。PD-270STA具有多种先进功能以最大限度地提高性能,包括用于优化蚀刻参数的多段设备、高精度基板定位系统和集成的多气体输送单元。SAMCO PD-270STA的多段单元通过允许用户为蚀刻室的每个区域设置优化的蚀刻参数来实现提高蚀刻效率和均匀性。这台机器使用户能够为每个段设置操作时间、功率、气体流量和其他参数,并确保基板的均匀蚀刻。PD-270STA的高精度基板定位工具确保了对各种基板材料的精确处理。该资产能够进行12位高分辨率横向和10位垂直移动,以处理各种尺寸从0.008英寸到6英寸不等的基板。综合多气体输送装置旨在通过提供精确的反应性气体溷合物，最大限度地提高蚀刻工艺的效率。该单元确保等离子体在基板上的均匀分布，以增强蚀刻均匀性。SAMCO PD-270STA能够在高频和低频下运行,等离子体功率高达250瓦,蚀刻速率高达0.7微米/分钟。该装置适用于微电子生产工艺，包括氧化硅蚀刻、硅蚀刻、金属蚀刻等工艺。PD-270STA是一种非常可靠和经济高效的蚀刻模型，旨在节省微电子生产的时间和金钱。它的高级功能使其成为各种蚀刻过程和应用的理想工具。