二手 SAMCO RIE-10N #9014948 待售

SAMCO RIE-10N是一种利用反应性离子蚀刻（RIE）去除超精密材料的单室等离子体蚀刻工具。该设备的特点是占地面积小，蚀刻速率高，能够处理大多数常规蚀刻应用，如光刻剥离、电介质去除、各向同性硅蚀刻等。RIE-10N可以处理各种基材，包括硅、石英、铝和各种金属化材料。该系统的设计效率很高，使用户能够在传统系统所需时间不到一半的时间内完成所需的蚀刻过程。它还包含了为可重复、一致的结果创建的一步式配方以及直观的图形用户界面。该工具具有一个源腔、一个抽水装置和各种气体输送系统，用于控制保护性气体的流动。它还包括用于生成等离子体的离子源、用于将离子引导到腔室的束加速器以及用于完成蚀刻过程的溅射源。机器可以配置各种等离子体蚀刻和溅射过程，包括感应耦合等离子体（ICP）和介电蚀刻。SAMCO RIE-10N为用户提供自动校准等离子体参数等高级功能，以实现可重复的可重复性。它还具有自动调节功能,可实现停机和成本节约,同时还可最大程度地降低破坏性颗粒污染的风险。其他功能包括用于优化反应性离子蚀刻工艺的自动选择程序,以及用于清洁环境的双壁室结构。RIE-10N配备了高精度的双向驱动电动机,可快速、精确和可重复地移动工作台,最大限度地减少带宽,减少对腔室的意外损坏。它还利用高性能气体输送工具提供长期稳定和统一的结果。SAMCO RIE-10N的突出特点是先进的温度控制，确保蚀刻过程在一致的温度下进行，以实现优异的工艺重复性。这在加工光刻胶、聚酰亚胺和有机材料等细腻而具有挑战性的材料时尤为重要。总体而言，RIE-10N是一个可靠可靠的蚀刻工具，保证可靠和均匀的蚀刻结果。它的所有功能协调一致,确保每次都能获得准确和可重复的过程结果,使其成为高级蚀刻作业的理想解决方桉。