二手 SAMCO RIE-10N #9354075 待售

SAMCO RIE-10N是由日本半导体器件领域领先的设备供应商SAMCO制造的蚀刻器/asher。这台机器提供了一种可靠可靠的蚀刻/灰分工艺，可以在各种基材中创建复杂的图样。RIE-10N设有反应室和处理室，可同时蚀刻和粉刷晶圆和基板表面。反应室与加工室分开加热，使用户可以精确控制蚀刻或灰分过程的温度。反应室的严密温度控制对于在晶片和其他表面创建战略性设计的表面特征非常重要。SAMCO RIE-10N能够对尺寸不超过20 "x 20"的基板进行剥皮和灰化处理。一个感应耦合等离子体（ICP）源集成到机器中，使蚀刻和灰化能够同时进行。此功能是有益的,因为它大大缩短了处理时间,并允许用户实现非常严格的尺寸公差。RIE-10N还配备了大型真空设备，底压为1.3x10-5 Torr。这允许了非常高质量的等离子体蚀刻结果，使得机器适合许多不同的蚀刻和灰化应用。SAMCO RIE-10N具有用户友好的图形用户界面（GUI）,可方便高效运行,并可精确控制气体流量、温度、压力和射频功率等参数。该机可配备真空卡盘或非真空系统，用于任何基板的超细加工。可选的端点检测单元允许用户控制蚀刻和灰烬过程并快速识别过程的终点。RIE-10N还具有先进的安全功能,例如内置联锁机器,可防止人员在操作时进入处理室,以及警报工具,以在发生紧急情况时向用户发出警报。所有这些特性的结合使得SAMCO RIE-10N半导体器件制造的绝佳选择。