二手 SAMCO RIE-10N #9407762 待售

SAMCO RIE-10N是一种主要用于制造硅芯片的蚀刻和灰化设备。它可以快速去除硅基板上的光刻胶和其他表面污染物。该系统允许精确控制蚀刻速率、晶圆温度、压力、气体流速和气体溷合比等参数。它旨在满足高吞吐量生产的需要,同时提供可重复、均匀的蚀刻和灰化结果。RIE-10N设计提供灵活的操作和易于维护。它的设计是模块化的,可以方便地访问组件和快速更换。采用铝制框架、湿度和温度控制系统以及不锈钢穿孔托盘建造，便于维护。其特点包括实时蚀刻速率监测器、温压控制单元、微处理器控制的气流控制机、微处理器控制的气流溷合比。SAMCO RIE-10N配备了一个旋转台，便于基板在真空室内转移。它灵活的卡带加载工具允许一次最多装载10个卡带，并转移到RF发生器进行基板处理。还提供电力控制，资产可以处理直径达8英寸的单个晶片。射频发生器的设计提供精确和灵活的基板加工，同时提供可重复的结果。RIE-10N有能力处理几乎所有的硅基板，包括重掺杂基板和具有多层结构的基板。它提供了两个表面的精密蚀刻以及改进的设备隔离、屈服和介电强度。该模型易于导航的用户界面允许手动和自动操作以及多模式操作。SAMCO RIE-10N通过其风扇冷却设备、防漏气封阀、防篡改开关以及温度或超压检测系统提供安全保护。内置诊断系统在操作过程中监视所有参数,提供实时数据以提高准确性和精度。RIE-10N是MEMS制造、微电子蚀刻和灰化、动力装置金属蚀刻和TEG工艺蚀刻（玻璃热膨胀）等应用的理想工具。