二手 SAMCO RIE-10NR #293656751 待售

SAMCO RIE-10NR是一种反应性离子蚀刻器（RIE），是为生产和研究应用而设计的。在SAMCO以前的RIE10-TF型号成功的基础上,SAMCO RIE 10 NR在简化操作和维护的同时,将蚀刻和灰化速度提高了一倍以上。RIE-10NR的真空室最大尺寸为200毫米× 200毫米，非常适合各种样本量。它配备了双射频源，产生高达800 W的功率用于蚀刻，另外还有500 W用于灰化。这使得它适用于一系列的材料，包括硅和金属。蚀刻过程由端点检测监视,端点检测是准确确定蚀刻操作结束的特征。RIE 10 NR还具有自动喷射控制功能，可调节蚀刻剂的流动，擦洗腔壁，提高蚀刻均匀性。蚀刻是通过一种可再填充的液态SnCl2溶液实现的，该溶液防止碎屑堆积在室内并保持系统温度。这减少了杂质的存在，并允许高蚀刻选择性和均匀性。该腔室与一个前瞻性光学视口连接，该视口可以监测蚀刻过程，并能够对蚀刻样品进行快速相机检查。SAMCO RIE-10NR还提供了一种低调的模块化设计,它集成了阀堆栈、粗加工泵和光学视口下方的控制器。这样就不需要外部布线,从而在维护过程中节省了时间和成本。对于高级应用，SAMCO RIE 10 NR可以加装一个用于浅沟隔离的高频源。此外,还可以升级系统的一系列附件,如涡轮泵、侧视摄像头和溅射离子源,以提高通用性。综上所述，RIE-10NR是一个强大而可靠的生产和研究蚀刻和灰化系统。它的双射频源、端点检测和自动喷射控制提供了高级流程所需的精度和精确度,而其低调和模块化的设计比其他RIE系统节省了成本和时间。