二手 SAMCO RIE-10NR #9083619 待售

SAMCO RIE-10NR是一种单频、射频等离子体蚀刻器/asher。它使用射频感应激发（RIFE）过程，利用单频、高频无线电信号来产生感应耦合等离子体。SAMCO RIE 10 NR具有最佳蚀刻性能的13.56MHz频率范围，可用于蚀刻硅、玻璃、金属、聚合物等多种基材。RIE-10NR的特点是设计紧凑,射频发电机、气体分配单元和射频供电单元均合并为一个单元。这允许对射频发生器进行高精度蚀刻和精确控制。蚀刻器/asher还具有易于调节的腔室尺寸，使得晶圆尺寸从5-10厘米进行处理。RIE 10 NR使用了一系列线圈来产生RF功率场。这些线圈被封闭在全金属不锈钢腔室中，以确保高精度蚀刻和防止交叉污染和磨损。SAMCO RIE-10NR使用直接气体输送系统，以确保整个腔室的气体流动均匀。这样可以精确控制工艺气体，以达到最佳蚀刻速率。可以通过调节压力调节器来控制过程压力，从而保证蚀刻深度和轮廓的均匀性。SAMCO RIE 10 NR还允许精确控制气体溷合物，从而实现更高的蚀刻速率和更好的蚀刻轮廓定义。RIE-10NR提供了非常高的精确度蚀刻速率，与蚀刻参数的精确控制。它还具有具有多种配方设置的单次蚀刻过程,可在一次运行中启用多个蚀刻过程。该蚀刻器具有长达5分钟的短周期,可通过提高质量控制来提高吞吐量。它还具有内置的温度和温度均匀性控制以及用于精确控制蚀刻过程的机器人界面。RIE 10 NR是高精度蚀刻应用的理想蚀刻器/asher，在蚀刻过程中提供高精度和重复性。此外,它的集成模块化设计确保了低维护和易于操作。此蚀刻器/asher为各种行业的微加工、表面修改和其他蚀刻应用提供了理想的解决方桉。