二手 SAMCO RIE-10NS Alpha #9105716 待售

SAMCO RIE-10NS Alpha是一种蚀刻器/asher，设计用于生产集成电路芯片。它是一款高端、高精度的蚀刻器/asher,具有适合高要求生产操作的特点。RIE-10NS Alpha的工作原理是在基板上印上抗性材料的图样。然后将这种模式暴露于氧化剂中。蚀刻或灰化过程包括从基材中去除材料以创建图样,并由抗蚀剂图样控制蚀刻特征的形状和大小。SAMCO RIE-10NS Alpha旨在最大程度地提高蚀刻和灰化工艺的精度。它具有多种功能，包括一个自适应控制设备，随着蚀刻或灰化的进行动态调整电源输入，确保精确的图样和快速的蚀刻时间。此外，该系统还配备了高分辨率光学显微显微镜和高精度激光，用于精确测量和检测蚀刻和灰化进度。RIE-10NS Alpha还具有多阶段特征识别和映射单元。这台机器可以检测和分析基板上预先存在的特征，即使在产生复杂形状或细腻特征时也能实现精确的模式映射。基材由真空卡盘整理支撑，保证了蚀刻结果的均匀性和一致性。SAMCO RIE-10NS Alpha还带有集成真空沉积和反应物洗涤器工具。这允许生产更高精度的蚀刻和灰化工艺，即使使用更精细的线宽和更平滑的曲线。该资产还配备了高速数据采集和分析模型，可以配置为自动分析蚀刻模式并产生详细的反馈和改进报告。RIE-10NS Alpha旨在为生产精密芯片提供最高质量的蚀刻和灰化。它结合了先进的特点和用户友好的操作，适合在半导体生产等相关领域的苛刻应用。它可靠性高，操作方便，使用寿命长，是精确高效生产复杂设计的理想选择。