二手 SAMCO RIE-1C #293753913 待售

SAMCO RIE-1C是由SAMCO Inc设计制造的反应性离子蚀刻器（RIE）。它是一种感应耦合的等离子体灰化器/蚀刻器，为蚀刻有机物、电介质、光致抗蚀剂和聚合物基材料提供可靠且可重复的工艺。它是一种通用RIE，其特点包括大腔室容量（直径226mm ×深135mm）、均匀蚀刻均匀性（± 2%）、低功耗和高速运行。RIE-1C有许多关键组成部分有助于提高其性能。该腔室由真空密封的不锈钢外壳组成，带有可供查看的窗户。其气体输送设备包括真空泵、压力表和质量流量控制器。它设有气体扩散室，以均匀溷合和引导气体流动。冷却系统由惰性气体封装组成，使内部温度在晶圆尺寸上保持均匀。等离子体发生器提供了一个电子控制的高达1625W的直流高频源。SAMCO RIE-1C还具有保护用户、操作员和机器的安全和控制功能。这包括一个紧急停止按钮和一个用于监测等离子体功率输出的电表。过程控制单元允许对压力、气流、功率等蚀刻参数进行详细的过程控制。机器还包括一个直观的用户界面，用于编程配方和监控过程参数。RIE-1C非常适合广泛的蚀刻应用，从清洁受污染的表面到清除有害的沉积。它体积小巧，效率高，非常适合工业、高吞吐量和实验室环境。该蚀刻器适用于晶片级和掩模级处理。蚀刻结果可以通过照片成像和光学审查系统进行评估。它还能够产生高度均匀的特征、卓越的选择性、高长宽比和减少的临界尺寸（CD）变化。总体而言,SAMCO RIE-1C是一种高效可靠的asher/etcher。它用途广泛，能够用多种常用材料产生可靠和可重复的结果。安全特性和直观的用户界面使其成为一系列蚀刻工艺的理想选择。此外，其大的腔室容量，均匀的蚀刻均匀性，以及高速运行，使其成为高通量和实验室应用的良好解决方桉。