二手 SAMCO RIE-200iP #293818827 待售

ID: 293818827
Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher.
SAMCO RIE-200iP是一种精密的蚀刻设备,用于微电子基板的精密蚀刻和清洁.该系统能够控制和记录工艺正时、温度、压力、射频源功率、加速度和气流控制等所有蚀刻参数。它具有自动脉冲射频功率控制、3-Zone直接加热先进的绝缘衬里、低噪声环境、改进的控制器和数据库结构、改进的高温腔室以及不锈钢腔室和端口。这个蚀刻单元有能力处理广泛的材料,包括聚合物、半导体材料、透镜和导电薄膜层。该蚀刻器配备了高效的气流控制机,能够同时控制化学和温度。特别开发的软件用于确保准确的工艺条件以改进性能和控制。RIE-200iP是一种创新的蚀刻工具,旨在为各种应用提供高性能的结果。它采用的先进技术确保了稳定的工艺条件和最小的总电极寿命,以最大限度地提高其正常运行时间。该工具配备了高效的反极性脉冲技术,有助于提高蚀刻速率,减少工艺时间,优化工艺参数。该资产被设计为清洁精细基板具有更高的精度和可重复性。它采用直观的控制界面设计,使用户能够快速准确地调整流程参数。该车型的其他特点包括为用户方便而设计的触摸屏液晶显示屏、优化的屏障缩放以及先进的基板加热技术。SAMCO RIE-200iP具有多种安全功能,包括高度敏感的温度过高保护系统以及非接触式真空系统。该设备的设计是为了最大限度地提高生产力和能效。其紧凑的设计使得它可以安装在小型实验室以及大型制造设施中。最后,系统得到了全面的客户支持,为用户提供了一整套出色的支持、反馈和服务。
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