二手 SAMCO RIE-200iP #9157972 待售
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SAMCO RIE-200iP是一种反应性离子蚀刻器（RIE），设计用于半导体化合物的干蚀刻。它是一种蚀刻均匀性和可重复性较高的蚀刻器，适合广泛的蚀刻应用。RIE-200iP是一个自给自足的系统，包含所有必要的组件，包括一个6 "x 6"的腔室、工艺气体流线和一个喷射电源，以及计算机工具和一个开环控制系统。这个蚀刻器有一个6 "x 6"的腔室，其下部表面在真空处理时提供晶圆和电源之间的均匀间隙。这样可以确保绝对蚀刻精度。气体的压力和流量可以根据蚀刻材料和所需的设计进行调整。这是由SAMCO pro3软件控制的，它可以用来设置蚀刻的特定参数，如偏压、工艺气体的流速和温度。SAMCO RIE-200iP还具有2级电源系统。第一级由电压夹紧电路组成，使电源电压保持稳定，从而在蚀刻过程中提供高均匀性。第2阶段是E-gun，附有对焦镜头，允许离子的加速来增加蚀刻速率。此外，蚀刻器还具有主动电涌保护功能，避免触电，并在操作过程中保护操作员。RIE-200iP还具有速度过滤器,旨在最大程度地减少状态气体和材料损坏。它能够处理不同的气体，如氯基等离子体、氟基等离子体和氧基等离子体。蚀刻速率可以轻松调整，使其成为满足不同蚀刻需求的通用工具。总体而言，SAMCO RIE-200iP为蚀刻半导体化合物提供了高效、准确的环境。凭借其易于使用的设计、精确的蚀刻均匀性、高可重复性和浪涌保护，这款蚀刻器是一款适用于各种蚀刻应用的强大设备。
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