二手 SAMCO RIE-200iP #9365949 待售

SAMCO RIE-200iP是设计用于半导体生产的先进蚀刻/灰化设备。该系统提供各种工艺中使用的晶片和基板的高质量、高精度蚀刻或灰化。它配备了一系列功能和控制,可进行精确、可重复的蚀刻或灰化,而不会产生污染物或损坏细腻表面的风险。RIE-200iP提供了一个高精度的图样蚀刻单元，利用先进的硬件和软件提供快速、高质量的蚀刻和最小的热损害。其集成的监控机器允许对工艺参数进行准确监控，以确保工艺的稳定性和质量。它还具有防止污染和确保最佳操作的自清洁工艺。该工具能够蚀刻各种材料，包括硅、砷、金刚石、铜、多晶硅和聚酰亚胺，精确度在所有晶片上一致。利用并联电极资产提供高质量蚀刻，并配有两级静电卡盘（ESC），使前后电极蚀刻都能准确进行。SAMCO RIE-200iP还提供了改进的工艺控制,允许在不影响工艺完整性的情况下微调蚀刻时间、温度、压力和掺杂气体成分等蚀刻参数。它还具有自动气体搅拌功能,可确保整个过程的均匀性能。此外,RIE-200iP还配备了内置的安全模型,可防止未经授权的访问并确保用户的安全。此外，该设备的设计便于与现有工厂系统集成，便于快速安装和维护操作。SAMCO RIE-200iP提供了一个高级蚀刻/ashing系统,它提供了极好的重复性和精确度。其集成的硬件和软件可提供快速、可靠的蚀刻和粉刷,且热损伤最小。此外,它的自动化功能改善了过程控制并增强了安全性。这一单元使得生产具有一致特性的优质晶片和基板变得容易，使其成为半导体生产的理想工具。