二手 SAMCO RIE-200iP #9395966 待售

SAMCO RIE-200iP 蚀刻器/asher是一种计算机控制、高精度、感应耦合的无功离子蚀刻（RIE）机，用于制造薄膜微电子器件，包括半导体和光子器件。该机设计用于高精度蚀刻、灰化、光刻剥离,材料精度高.该机采用经过验证的电感耦合等离子体诱导的RIE技术，生产清洁、可控的材料蚀刻，几乎没有材料清除过量。RIE-200iP是为了提供最大的材料吞吐量与非常低的粒子产生，同时保持极好的蚀刻均匀性和蚀刻精度。该系统利用高压和低压RIE工艺精确控制蚀刻速率和材料选择性。高压操作允许用户优化蚀刻速率和选择性，低压操作提供高材料蚀刻均匀性。该机有一个200毫米x 200毫米（8 "x 8"）的工作室，配有可调基板电极，用于快速的材料加工。可变射频发生器提供高频、高功率的基板偏置调节，用于材料的快速加工。SAMCO RIE-200iP的最大蚀刻速率为15 nm/min（~ 1500A/min），最大蚀刻深度为6 µm。该机同时配备氦气质谱仪和皮拉尼压力仪，用于精确控制蚀刻工艺。RIE-200iP可以针对单次或无限制的周期进行编程,从而可以对蚀刻过程进行简单的自定义。此外,计算机允许用户从任何远程位置运行整个蚀刻过程。此外，该系统还配备了数字互锁系统，以增加安全性。SAMCO RIE-200iP是薄膜材料的精确蚀刻和灰化以及光刻剥离的理想选择,尤其是发光二极管（LED）、显示器和光电应用。该机具有最高的精度和理想的可重复性和均匀性.它是微电子器件制造的理想选择，特别是对于那些精度要求极高的器件。