二手 SAMCO RIE-200IPC #293656750 待售

SAMCO RIE-200IPC是为半导体晶片蚀刻和灰化的特定任务而设计的高效蚀刻器/灰化器。它使用许多先进的技术和功能构建,使其能够实现高生产率和精确的过程控制。RIE-200IPC配备先进的SAM-RIE （Sam Engineering RIE）自动精密蚀刻和灰化设备。该系统由专利双磁搅拌单元结合两级深真空工艺和变频微波技术组成，提供可靠、可重复的工艺效果。它还具有低工艺压力（降至1.5 Pa）的能力，宽大的腔室温度范围为-5 °C至+200 °C以及快速晶圆传输时间（2分钟以下）。SAMCO RIE-200IPC还配备了多种安全功能，以增加安全性和可靠性，包括自动关闭机和故障监控。该工具还提供了出色的过程重复性和可控性。资产配备了三轴运动控制器，允许操纵晶圆角进行精确蚀刻/灰化。此外,内置的前面板显示屏和交互式用户界面在触摸按钮时提供有关当前处理条件的清晰反馈。由于周期时间短,RIE-200IPC的设计可提供卓越的吞吐率。循环速率为1晶片批/15分钟，最大吞吐量为30晶片/小时。此外，由于具有边缘损失控制能力和有效的废气回收模型，它最大限度地减少了材料消耗。这种蚀刻/灰化设备由于排气低、温度稳定，也提供可靠的环境保护。SAMCO RIE-200IPC蚀刻/灰分系统是一个全面的单元，将满足各种半导体应用的工艺需求。其高效的自动蚀刻和灰化机、广泛的安全特性和强大的过程控制能力都是促成其卓越性能和可靠性的因素。