二手 SAMCO RIE-200IPC #293798661 待售

SAMCO RIE-200IPC 蚀刻器/asher是为研发应用而设计的可靠、准确且用途广泛的等离子体蚀刻器/asher设备。该系统基于射频气体等离子体工艺，工件暴露于工艺气体和匹配网络产生的高频电场的溷合物中。此单元能够实现高达每秒20nm的硅蚀刻速率,使其成为需要压力敏感、高长宽比蚀刻的应用的理想工具。RIE-200IPC是一种迭代等离子体蚀刻器/灰化器，能够在多个基板上实现均匀的蚀刻轮廓和精细的表面粗糙度。它具有振荡电源，工作频率0.5-50MHz，电压可调（最高可达1500V），频率可变，能够精确蚀刻精致的材料。该机还具有自动工艺控制功能，便于调整任何类型材料的蚀刻参数。该工具的加工管道装有惰性气源，使蚀刻的蚀刻表面能够消除敏感材料的氧化。SAMCO RIE-200IPC利用较低的热预算来蚀刻薄膜,从而能够以最小的应力引起的翘曲来蚀刻精细的图样。它还具有等离子体排气资产，具有可调压力控制、温度监测等安全特性，以确保最佳工艺安全。该模型非常适合长期生产吞吐量和原型设计应用。RIE-200IPC保证了较高的吞吐量性能，在大型基板上具有+/-1%的层对层可重复性精度。它坚固可靠的设计也使它成为具有挑战性的蚀刻应用的一个不错的选择，在这些应用中必须尽量减少污染和热扭曲。该设备在加工材料方面也具有很高的灵活性，非常适合各种蚀刻应用。SAMCO RIE-200IPC是一种多功能、高性能的蚀刻器/asher,能够在多种材料中产生高长宽比的蚀刻。低热预算设计、工艺参数可调、重复性好，RIE-200IPC是研发实验室和生产设施的绝佳选择。