二手 SAMCO RIE-200IPC #9183499 待售

SAMCO RIE-200IPC是一种反应性离子蚀刻器（RIE），设计用于蚀刻各种材料，从硬质到软质。它是一种经济高效的生产设备,能够处理低运量和大运量运行量。蚀刻器装有一个可移动的下部压板，它允许蚀刻晶片的精确对准。这种蚀刻器具有一个标准的石英腔室，使它非常耐用和持久。RIE-200IPC具有可调节的压力和温度控制系统，能够在不同深度和温度下进行蚀刻。这些设置可以在自动触摸屏界面上进行调整。该蚀刻器还具有板载材料列表和配方存储功能,以实现可重复的工艺结果。该系统具有很高的可编程性，允许手动和自动操作模式。这两种工艺气体，即改性的O2和NF3，可独立调节用于特殊工艺，包括高压和低压加工。SAMCO RIE-200IPC可以蚀刻多种材料和底物，包括硬质聚合物、硅、二氧化硅和砷化氙。蚀刻器利用反向磁控管，可以在直径达6英寸的晶圆区域上提供均匀的蚀刻速率。蚀刻器带有板载快门单元，可用于防止材料堆积和减少蚀刻后的过程时间。该机还配备了一个集成的粒子控制工具，有助于最大限度地减少产品污染。这项资产是围绕高效过滤设计的，其中包括高效的颗粒状空气过滤器和减少空气污染的HEPA过滤器。此外，RIE-200IPC还采用了免维护的远程后处理模式，旨在减少腔室污染。设备还配备了泄漏检查系统和真空装置，以监测蚀刻效率。总体而言，SAMCO RIE-200IPC是非常先进和可靠的蚀刻各种材料。其高精度的控制系统，增强的自动化，以及其车载的粒子控制机有助于减少产品污染和优化加工结果。RIE-200IPC非常适合低批量处理,可提供高质量、可重复的结果。