二手 SAMCO RIE-200IPC #9287082 待售

SAMCO RIE-200IPC是一种反应性离子蚀刻器（RIE），用于在多种材料中产生高度可重现、高精度的蚀刻特征。适用于生产集成电路（IC）、磁记录头、MEMS、精密光学、光电等。RIE-200IPC是一种全自动化的高端蚀刻设备,由于结合了先进的技术和精确的过程控制,其设计目的是达到极其准确和一致的结果。它在高真空条件下运行，以实现清洁蚀刻结果，而不会削弱，介电蚀刻，或表面污染。其高精度、高通量的自动化系统以0.2-98.0微米的分辨率确保了可重复的蚀刻特性。此外，其先进的嵌入式软件优化了蚀刻策略，以持续监测蚀刻过程，防止结果出现任何偏差。SAMCO RIE-200IPC配有工艺室壁的同轴屏蔽，以尽量减少表面充电，一个用于完全清除工艺气体的高质量真空单元，以及一个提高O3工艺成功率的高效ETCH DISK O3发生器。此外，该机器还包含一个高度可靠的自动基板转移工具，用于装卸最大尺寸为12 "× 12"的基板。此外，RIE-200IPC还配有惰性铝合金工艺室，可延长设备使用寿命、模块化清洁和维护资产以及智能数字通信接口。它配备了直观的图形用户界面，用于蚀刻配方的配置、模型运行的监控以及数据采集，以便进一步分析。该设备还支持基板自动装卸、气体输送、排气处理、排放监测等外围设备。SAMCO RIE-200IPC为各种材料（包括金属、氧化物、氮化物、塑料等）的蚀刻提供可靠和可重复的性能。它非常适合制造小规模、高精度的特征,并适用于大规模的生产蚀刻应用。总体而言,RIE-200IPC是一种功能强大、用途广泛且自动化的无功离子蚀刻解决方桉,能够以最短的吞吐量时间提供卓越的蚀刻效果。