二手 SAMCO RIE-200L #9157970 待售
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SAMCO RIE-200L是一种射频蚀刻器（RF），专门设计用于在蚀刻或灰化各种基材时产生高质量、快速的结果。RIE-200L配备了先进的离子源和强大的冷却负载能力，使其能够在脉冲模式下运行更长的时间。由于增加了一个水冷却板，从而消除了任何可能的热量积聚，蚀刻器的热管理也得到了改进。SAMCO RIE-200L采用紧凑的设计和用户友好的组件和布局,是众多研究和行业工程师的首选。蚀刻器带有可调节的频率输出，提供精确的功率程度和自动精度。控制箱具有高分辨率液晶显示屏，各种参数可快速轻松调节。此外，该系统还配有安全联锁系统和紧急关断开关，保证了操作过程中的最低风险。RIE-200L能够使用三种气体-O2、CF4和Ar-以及各种底物,包括铝、、、金和掺杂硅。该系统支持高达11.7nm/min的令人印象深刻的蚀刻速率，浅或深蚀刻精度分别为1 ~ 3微米和6 ~ 30微米。此外，蚀刻器带有一个内置的排气过滤器，用于收集颗粒和收集加工产生的任何废物。SAMCO RIE-200L作为一种多功能、可靠的蚀刻器,是各种行业和应用的优质资产。其高蚀刻速率和精确度使其成为生产各种电子或机械工业所用的高品质零件的理想选择。自动化精度和可调频率输出的结合，无疑将使工程师能够探索新技术，开发突破性的产品。
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