二手 SAMCO RIE-200NL #293621510 待售

SAMCO RIE-200NL是由SAMCO Technologies设计制造的蚀刻和灰化设备。该系统设计用于各种蚀刻和灰化应用，如电子、半导体和光电子。RIE-200NL采用感应耦合等离子体蚀刻工艺，比传统的各向异性蚀刻工艺和极低温蚀刻工艺具有优势。这允许用户控制蚀刻速率，调整能量，修改工艺参数以达到所需的结果。该单元配备了高级控制器，为控制蚀刻过程和操作参数提供了通用功能。它还包括一个自我诊断功能,用于检查机器性能和可以远程访问的诊断程序。SAMCO RIE-200NL具有一个具有四个独立气体通道的气体入口歧管，使该检测器能够选择最佳的气体溷合物。该工艺室由不锈钢和石英制成，提供出色的温度和压力控制。腔室还具有可移动的侧壁，使得处理大型晶片和多个基板配置成为可能。RIE-200NL采用高效双频微波发电机设计，可保持较低的内部温度，最大限度地减少颗粒污染。它还提供了用户的可编程性，允许用户轻松定制流程参数和配方。用户还可以监控原位晶圆温度。可选的底板允许快速定制配方,并有助于最大程度地减少交叉污染。它还与广泛的蚀刻化学体系兼容，包括卤素基蚀刻、硫基蚀刻以及氯和氟基蚀刻。SAMCO RIE-200NL 蚀刻器/asher是研究和开发高级蚀刻和灰化工艺的理想工具。它具有多功能、高精度和易用性,适用于包括半导体、光电、微电子以及其他需要蚀刻和灰化工艺的行业在内的广泛应用。