二手 SAMCO RIE-212ip #293760254 待售

SAMCO RIE-212ip是为敏感蚀刻应用而设计的一种先进的反应性离子蚀刻（RIE）系统。它非常适合从半导体制造到生物医学工程的应用。RIE-212ip具有12英寸晶圆尺寸的功能,是任何需要更高吞吐量的应用程序的理想选择。它具有精确定位蚀刻工艺的高精度光学元件，可处理五条带有最多两个独立真空室的蚀刻气体服务管线。机器的用户界面允许精确控制蚀刻参数，并提供对工艺条件的实时监控。SAMCO RIE-212ip能够在高达200°C的温度下运行,并且可以处理各种精密蚀刻工艺。低温蚀刻的两种工艺气体的并发流动可以通过腔室，使其成为加工铝、硅、钛合金的理想选择。蚀刻机内可调节的总压力还允许在此过程中严格控制蚀刻。RIE-212ip使用的高精度直驱步进电机使其具有出色的工艺重复性和准确性。电机具有水平和垂直读取的玻璃编码器，使机器适应各种蚀刻应用。机器底部的防反射涂层滤光片可防止蚀刻过程中的光反射，最大限度地减少光散射，提高工艺精度。SAMCO RIE-212ip采用双盒式晶片升降机和可调晶片卡盘设计，方便晶片装卸，显着提高了效率和生产率。机器的内置传感器使它能够自动检测设备/晶片基板事件，确保安全和操作人员在蚀刻过程中的舒适度。RIE-212ip直观的操作系统和图形用户界面突出了机器的性能，使其用户友好，并允许高效生产。系统的诊断功能还增强了其可用性,使计算机成为任何敏感蚀刻应用程序的高性能选择。