二手 SAMCO RIE-212iPC #293587430 待售

SAMCO RIE-212iPC是一种最先进的蚀刻和灰化器,可用于半导体半导体中的各种蚀刻和灰化过程。该设备是一个先进的、小型化的、高度可靠的蚀刻和灰化系统，旨在为半导体制造提供高精度和控制蚀刻和灰化工艺。SAMCO RIE 212 IPC具有多种特性和优点，如氧化蚀刻能力、密封超洁净室和超高分辨率表面视图窗口。该装置的氧化蚀刻能力使各种材料和工艺节点的蚀刻和表面制备具有更高的精确度和吞吐量。密封式超清洁室可确保工艺环境保持无污染状态,而超高分辨率表面视图窗口允许操作员密切监视工艺进度。RIE-212iPC还配备了基于亥姆霍兹的气体输送机，使气体能够准确、精确地输送和控制，从而获得最佳的蚀刻和灰化性能。气体输送工具由多相气体调节阀、被动式气体预热器和被动式气体净化器组成，已被并入腔室，以优化过程的温度和压力。RIE 212 IPC还具有多级可变电源,可为蚀刻和灰化过程提供广泛的功率级别。可变电源由一个脉冲功率阻抗匹配（PPIM）资产组成，该资产优化了蚀刻和灰化过程的功率与深度之比。此外,可变电源采用离子过滤模型设计,可实现更高的功率密度,同时减少不希望的蚀刻产品的形成。SAMCO RIE-212iPC还包括一个先进的过程控制设备，它提供对过程参数的实时监测和控制。有了这个先进的过程控制系统，用户可以访问各种蚀刻和ashing过程配方，设置多个过程参数，监控过程的进展，排除过程相关问题。总之，SAMCO RIE 212 IPC是一种最先进的蚀刻器和灰化器，旨在促进半导体材料的高精度和高通量的蚀刻和灰化。这一单元具有多种特点和优点，如先进的工艺控制、密封的超洁净室、基于亥姆霍兹的气体输送机和多级可变电源，使RIE-212iPC成为一个高效可靠的蚀刻和asher工具，非常适合半导体制造。