二手 SAMCO RIE-212iPC #293587433 待售

SAMCO RIE-212iPC 蚀刻器/asher是为纳米级加工和材料表面加工应用而设计的等离子体蚀刻和灰化设备。该系统结合了远程电感耦合等离子体（RIEC）和射频（RF）源技术，具有极高的控制水平和准确性。这允许使用传统蚀刻/灰化系统的一小部分功耗来实现纳米级精度。该单元配有一个集成的真空室，可以在蚀刻/灰化过程之前快速高效地撤离机器。它具有少于三分钟的处理时间,具体取决于作业的大小和复杂性。此工具的最高温度为154 °C,低温为-50 °C,非常适合各种蚀刻/灰化工艺。资产具有160mm x 160mm的大蚀刻面积，是快速高效蚀刻大零件的理想选择。它允许通过用户友好的图形用户界面（GUI）保存和召回多个蚀刻配方,以便快速轻松地蚀刻大型零件。此外，该模型还采用了低气压蚀刻模式，以提高蚀刻精度和表面光洁度质量。SAMCO RIE 212 IPC还包括一个精密的射频源电源和发电机，允许稳定和受控的蚀刻过程。通过使用这种发电机，该设备可以在低功率和具有极好的重复性蚀刻。它还允许使用高达700W峰值功率的高功率等离子体蚀刻。最后,该系统为操作员提供了惊人的安全功能,它完全封闭,只能从外部的维护面板访问。此外，该装置有一个内置的压力监测仪，用于检测压力的任何即时变化，给操作员一个何时停止该过程并采取行动的警告。总之，RIE-212iPC是一台功能强大、可靠、安全的蚀刻/灰化机，非常适合各种基材和材料表面加工应用。其控制水平高，精度高，功耗低，RF电源通用，非常适合纳米刻蚀/灰化。