二手 SAMCO RIE-212iPC #293761450 待售

SAMCO RIE-212iPC是一种最适合于高精度大气压力反应离子蚀刻和灰化的蚀刻器和灰化器，通常用于半导体制造。该设备是完全自动化的，包含各种工艺参数，以提供卓越的蚀刻质量和成本效益。蚀刻器具有200 cm3容量的大型高真空室，可进行大批量处理，缩短加工时间。双级粗加工泵和精制涡轮分子泵可确保高真空性能。一个简单、直观的用户界面可用于控制自动化设备，包括压力控制、过程气体控制和高压应用。它还包含一个旋转的电极支架，确保在所有表面上均匀蚀刻结果。该设备还具有高功率源控制功能，允许高速蚀刻和高精度等高级过程。根据产品要求，蚀刻器可以使用各种气体，如O2、CF4、Ar和SF6。此外,它还具有高达2,000V的电源控制电压,精度为+/-0.5%。装置的内置安全特性确保其安全以及周围环境的安全。这包括一个电弧检测系统、一个监测单元、一个紧急停止机器和一个气体检测工具。此外，该装置配有温度监测资产，可用于监测工艺室及其部件的温度，有助于减少任何与工艺相关的损害。综上所述，SAMCO RIE 212 IPC蚀刻器和asher设计用于高精度大气压反应性离子蚀刻，提供卓越的性能，具有自动过程控制和一系列安全特性。设备的大容量允许提高性能和减少处理时间。