二手 SAMCO RIE-212iPC #293798662 待售

SAMCO RIE-212iPC是一种针对半导体晶片、PC板和特种基板的干蚀刻、清洁、深蚀刻等工业过程而设计的蚀刻器和asher。它非常适合高长宽比蚀刻、临界尺寸控制和精确层传输等过程。其精度高达500 nm,提供了广泛应用所需的一致性和准确性。SAMCO RIE 212 IPC提供了紧凑的占地面积和经济高效的设计,使其适用于小型和大型生产环境。其用户友好型设计采用直观的触摸屏控制面板,可实现快速设置和编程。此外,它还配备了先进的2800 W电源,并配备了气体输送设备,其中包括两个带标准净化控制和可选快速净化功能的气体入口。这确保了与大多数关键工艺气体的兼容性。RIE-212iPC还采用了无转子和传统的干蚀刻设计，可实现快速蚀刻时间和小区域或大区域的精细图案化。它有一个数字化的过程监测系统，以确保最佳的基材吞吐量和过程的一致性。此外,自动化的端点检测单元允许精确的蚀刻速率和可重现的结果。RIE 212 IPC包含了排气处理机和真空互锁装置等一系列安全和环境特性。这样可以确保用户安全,并有助于减少对环境的影响。此外,它的通用电源输入可以轻松集成到任何生产线中。总体而言,SAMCO RIE-212iPC是一款高级蚀刻器和asher,旨在满足各种工艺需求。它提供精确、一致的蚀刻速率、可重现的结果以及一系列安全和环境特性,使其非常适合各种工业需求。