二手 SAMCO RIE-212iPC #9189842 待售

SAMCO RIE-212iPC是一种用于复杂加工薄膜材料的蚀刻器/asher。能够对不同的聚合物、电介质、陶瓷、金属等材料进行蚀刻和灰化。这个强大的单元旨在提供蚀刻和灰分加工的均匀性，适用于各种半导体行业。SAMCO RIE 212 IPC包括集成的等离子体源以及带有ASIC控制的高功率气体输送系统的气体旁路。等离子体源有一个电机驱动的腔室和一个冷截面，以降低气体温度随着时间的推移。该单元配有图形用户界面，便于操作。它还有一个后置的氢和氧系统，其中包括一个排气过滤器。蚀刻器/灰化器能够在最高腔室温度最高为1000℃的固定或可调温度范围内进行蚀刻和灰化。该机还可以加工多种材料，包括氧化硅、氮化硅、无定形硅、铝、氮化钛、ITO等等。RIE-212iPC设计有一个集成的密封钛屏蔽室，提供了卓越的工程精度和可重复性。该单元还通过高精度Z轴和晶圆倾斜控制确保均匀蚀刻和灰化。它有一个内置的诊断系统，实时监控过程参数，以提高准确性、稳定性和可重复性。The Unit还附有多种可以在机器中使用的材料，包括氧化硅、氮化全新、金、氮化铝、铜以及各种非硅材料。它也可用于低压过程，这对于需要高功率和低压的一系列推进过程很有用。总体而言,RIE 212 IPC是一种可靠、准确的蚀刻器/灰化器,可用于处理多种材料。它具有提供精确和可重复性的高级功能,以及确保安全操作环境的集成安全功能。该单元配有多种材料，可用于高功率和低压过程，使其成为半导体和电子应用的绝佳选择。