二手 SAMCO RIE-212iPC #9384507 待售

ID: 9384507
晶圆大小: 2"-4"
优质的: 2008
ICP Etching system, 2"-4" 2008 vintage.
SAMCO RIE-212iPC是一种最先进的等离子体蚀刻器/asher。它适用于原型和生产Etch-and-Clean在IC制造过程中的应用。它是一种具有创新蚀刻/清洁板概念的单室装置,与无湍流的线性轨道和安装系统配合使用。该系统允许更高效和均匀的蚀刻,以及更好的保形性和蚀刻均匀性。SAMCO RIE 212 IPC配备了先进的E-Gun,可针对不同的气体成分创造高等离子体密度、均匀性和耐用性。该枪能够在所有蚀刻条件下保持较高的工艺稳定性,给用户一个全面、可靠的蚀刻和灰度控制。用户可以同时控制腔室温度和压力,允许高分辨率蚀刻。RIE-212iPC设计用于各种加工模式。它支持尺寸和平面蚀刻以及激光反应性离子蚀刻(RIE)。它为用户提供了出色的形状、深度和长宽比控制,以及高级别的过程可靠性和可重复性。不仅能蚀刻传统材料,还能蚀刻铝、不锈钢、织物等坚硬多层的保护材料。RIE 212 IPC极为人性化。它有一个直观的控制面板,允许用户轻松修改和导航设置。它能够进行高速数据采集和分析,以及快速高效的作业设置。它的模块化设计允许轻松集成新组件或升级到设备。用户还可以使用集成的内置计算机同时控制多个进程。SAMCO RIE-212iPC是一个先进的、用户友好的蚀刻器/asher。凭借其创新的E-Gun和线性轨迹和安装系统,它提供了出色的形状、深度和纵横比控制,以及高分辨率的蚀刻和灰化。它适用于IC制造过程中的原型和生产蚀刻与清洁应用,为用户提供全面可靠的过程控制以及易于设置和操作。
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