二手 SAMCO RIE-300NR #293597183 待售
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SAMCO RIE-300NR是一种用于电子器件制造的反应性离子蚀刻器和灰化器.它是一种工业级机器，利用高效的反应性离子蚀刻（RIE）和灰化工艺。这一过程能够通过高能中性粒子的辉光放电、离子轰击和等离子体的组合，控制从基板表面去除材料。SAMCO RIE 300 NR的特点包括真空度为5 torr的0-10,000 sccm气体供应，以及0-1200V的可调电压范围和0-400W电源。它的腔室尺寸为300 x 300 mm,具有自动/手动功能、石英窗口、E-shot射频发生器和冷却板等功能,非常适合在广泛的过程中进行样品冷却。该系统旨在产生精确的蚀刻速率,从而能够精确控制蚀刻深度和图像图样。其自动化的蚀刻停止系统可以与20多种气体结合使用，包括氟化气体、氧气、氮气和氙气，使其适合广泛的应用。此外，其精确的灯丝控制允许对各种材料进行精确的蚀刻，从塑料、金属和合金到陶瓷和绝缘体。除了效率高，本机还有低维护设计。它方便的前面板操作和远程控制器提供了直观易用的操作。它还有一个综合的安全机制，确保安全，从过大的气体压力和电干扰。总体而言，RIE-300NR是制造电子设备的可靠和高性能蚀刻器。其精确的蚀刻速率和广泛的气体使其能够满足各种制造工艺的需要。此外,其强大的设计和低维护性能使其能够在不同的条件和环境中工作。
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