二手 SAMCO RIE-300NR #293804464 待售
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SAMCO RIE-300NR是一种蚀刻器/灰化器，特别是一种反应性离子蚀刻器（RIE），用于高精度的微细加工。此工业级工具提供卓越的性能,使用户能够一致地制造高表面精度的零件。SAMCO RIE 300 NR是一种低成本、可靠的设备，设计用于许多不同的行业，包括微电子学、生物技术实验室等等。该装置具有真空室，由85立方米/小时涡轮分子泵提供动力，能够达到2x10^-3 Pa或更低的基本压力。这使用户能够以极高的精度执行蚀刻和灰化过程。控件非常直观,带有5.7英寸彩色液晶触摸面板,可输入命令和显示信息。高性能的基于计算机的操作系统进一步简化了控制。与大多数RIE系统不同,RIE-300NR具有在线CCD摄像头系统,用于在线监控流程。相机连接到5倍、10倍和20倍放大倍率的显微镜，使用户能够观察正在进行的过程。通过监控过程,用户可以轻松调整参数以获得最佳性能。RIE 300 NR配备了获得专利的XCEL®等离子体源，使用户能够产生具有异常等离子体均匀性和低离子能量扩散的高反应性等离子体。此外，该装置还包括一个独特的晶圆对准系统，以提高处理精度和可重复性。其工艺气体通过质量流量控制器和计量阀的组合输送，精度为+/-0.5%，最大限度地减少了气体流量对加工结果的影响。气体系统还具有压力剖面控制功能，允许用户剖面室内的气体压力。此功能可确保针对任何类型的蚀刻材料优化反应。SAMCO RIE-300NR最终以极高的精度和可重复性为不同材料的微观加工提供了卓越的性能。其高端功能为用户提供了无与伦比的蚀刻过程控制，确保了每一次的一致结果。
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