二手 SAMCO RIE-300NR #9234636 待售

SAMCO RIE-300NR是一种用于集成电路生产、微电子及相关应用的蚀刻和灰化设备。该系统对各种基材进行可靠、精确的化学蚀刻和粉刷。SAMCO RIE 300 NR在其盒式蚀刻和灰化室中可以容纳4"至12"（100毫米至300毫米）范围的晶圆。这得益于RIE-300NR的浮动级和自动阀门控制的组合。腔室环境由内置流量计单元控制，专门设计用于精确调节气流。RIE 300 NR可以处理广泛的蚀刻和灰化条件。已经用CF4、SF6、NF3、CDA、Oxygen等气体对铝、钨、多晶硅、石英等半导体材料进行蚀刻和灰化试验。该机器设计用于在高达660°C的高温和低于-100°C的零下温度下运行。工具内置的液氮冷却能力促进了这一点。SAMCO RIE-300NR配备了先进的软件控制资产,旨在确保对蚀刻/灰度的最佳控制。这允许将自动配方控制集成到模型中,从而实现更高效、更精确的蚀刻和灰化过程。这种先进的软件控制设备还允许可编程百叶窗达到清洁标准。此外，SAMCO RIE 300 NR拥有一个内置真空泵和通风口系统，旨在确保清洁的工艺室气氛。据报告，该装置能够达到10-6 Torr以下的真空水平。这样可以确保连续操作而不会受到污染。该机器采用工业级部件制造，设计用于处理实验室环境中严格的蚀刻和灰化工艺条件。RIE-300NR还具有广泛的监控安全功能,旨在确保用户和环境的安全。RIE 300 NR蚀刻和灰化工具是集成电路生产的可靠、精确的蚀刻和灰化解决方桉。它擅长处理各种蚀刻和灰化条件,并提供10-6 Torr的自动化软件控制和真空级别。SAMCO RIE-300NR具有工业级部件和安全特性,为实验室应用提供了可靠、安全的蚀刻和灰化解决方桉。