二手 SAMCO RIE-300NR #9236887 待售

SAMCO RIE-300NR
ID: 9236887
Reactive Ion Etching (RIE) system.
SAMCO RIE-300NR 蚀刻器/asher是一种高性能的蚀刻和灰化系统,设计用于各种材料的蚀刻/灰化,包括玻璃、不锈钢、软金属和塑料。SAMCO RIE 300 NR采用双腔室设计,因此既可用于蚀刻工艺,也可用于灰化工艺。上室装有蚀刻用电极,下室装有灰泥用加热器。蚀刻室采用介电绝缘来确保对蚀刻参数的精确控制,并采用真空系统来保持蚀刻过程的清洁。灰化加热器室的温度范围高达450°C,提供了准确且可重复的结果。RIE-300NR还具有完整的触摸屏用户界面,便于操作和监控,允许用户创建和存储配方和参数供以后使用。界面还提供多种安全功能,确保操作员在蚀刻过程中不接触任何危险材料。RIE 300 NR的蚀刻均匀性和速度也令人印象深刻,提供高达每小时300晶圆的生产速率,可重复均匀性为+/-0.5µm。该工艺还可以使用可选的VDE-8介电HV蚀刻室进行扩展,以扩展可蚀刻/粉刷的材料类型和尺寸范围。最后,SAMCO RIE-300NR还与许多计量系统兼容,以便用户可以在其晶圆上获得快速、准确、测量的数据。这使用户能够快速调整他们的食谱,并在一致的基础上生产出一致的、质量的零件。总体而言,SAMCO RIE 300 NR是一款功能强大且可靠的蚀刻器/Asher,可为多种材料提供完整的蚀刻解决方桉,具有较高的生产速率和精确的均匀性。它易于操作和与计量系统兼容,使其成为任何以制造或研究为重点的实验室的完美解决方桉。
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