二手 SAMCO RIE-300NR #9249082 待售

SAMCO RIE-300NR是一种高性能、反应性离子蚀刻器（RIE）。这种先进的蚀刻和ashing工具位于密封的密封外壳中，设计成精密图样的材料如硅、砷、铝，精度高达0.1微米。它还具有氢氟酸蒸气清洗设备、自动压力控制系统和干式绕行模式以减少停机时间。SAMCO RIE 300 NR通过将蚀刻和灰度结合在一个单元中提供两全其美。它具有一个大的腔室尺寸，能够处理直径不超过10英寸的基板。RIE-300NR也有各种腔室和晶圆保持配置，以适应不同的项目要求。其高纯度的聚氟乙烯气体输送机有助于在广泛的过程中保持高吞吐量和一致的蚀刻速率。RIE 300 NR因其先进的等离子体控制系统和椭圆偏振仪功能，是生产小型复杂特性的理想选择。SAMCO RIE-300NR可以借助其原位端点检测、射频发生器和电容耦合腔室帮助实现广泛的工艺参数。此外，SAMCO RIE 300 NR的内置排气口让用户可以自由地在腔室内进行不平衡的处理，而不会排出任何等离子体或科里奥利力。RIE-300NR是光掩码修复和晶圆背面蚀刻清洗应用的理想选择。这款先进的蚀刻器和asher，非常适合加工各类材料，包括硅、砷化氙和铝。它还能够蚀刻斜角和底切轮廓轮廓,精度高达0.1微米。RIE 300 NR通过其自动压力控制工具和干式绕行模式提供了最高水平的性能,从而减少了停机时间。