二手 SAMCO RIE-300NR #9402475 待售
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SAMCO RIE-300NR是一种可靠的反应性离子蚀刻器（RIE），设计用于蚀刻包括石英、硅、陶瓷、金属和聚合物在内的多种底物。它提供了出色的过程稳定性、可重复性和均匀性。SAMCO RIE 300 NR能够在多种材料中蚀刻到0.2um的特性。这使得它适用于精密蚀刻应用，如微电子、光电子、MEMS。RIE-300NR配备了小占地面积、低成本的控制台,并由大型平台支持。它包括多达五个具有不同类型电池的工艺腔室，如高通量枪管、波导腔室和线性电池。它还具有许多高级功能,包括高温操作、压力/流量控制、自动化过程排序以及各种冷却/清除选项。RIE 300 NR还提供了多项高级功能，如高端流程监控、专有的用户友好型触摸屏控制面板和软件、可编程配方和配方共享、Web浏览器界面以及高级流程音序器。这允许用户根据自己的需要配置计算机,并确保可靠、可重复和一致的蚀刻场景。SAMCO RIE-300NR具有广泛的过程气体,提供了灵活性和优化的过程控制.Cl2、O2、Ar、BCl3、N2和SF6等气体可用于多种流量和压力设置，以优化蚀刻结果。气体输送系统能够在最小停机时间内确保最佳精度和控制。SAMCO RIE 300 NR也有可选的真空泵，可以用来降低蚀刻薄膜时的击穿电压。这使得它适用于薄膜应用，并确保可靠和可重复蚀刻结果。RIE-300NR是用于各种材料，包括半导体，陶瓷，玻璃和聚合物蚀刻应用的完美工具。它提供卓越的过程控制、可靠的操作和卓越的可重复性，是精密研究和工程应用的理想选择。
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