二手 SAMCO RIE-330iPC #9222887 待售

SAMCO RIE-330iPC是一种先进的蚀刻器/asher,具有卓越的蚀刻和ashing性能。它是医学、电子和材料加工实验室的理想选择。这330W先进的等离子体蚀刻和灰化设备提供高速和均匀去除任何基材类型的工艺材料。该系统还允许在关键化学品加工之前进行预处理清洁和清除残留物。该单元配有精密气体输送机、高速机动化级和专有的RIE工艺控制工具。精密气体输送资产为气体的精确输送提供了气体喷射口，以及用于遥控气体流量的控制电缆。高速机动化阶段允许连续蚀刻和灰化操作，周期时间短，对过程窗口的精确控制。RIE过程控制模型允许对所有蚀刻和灰化操作进行精确的过程监视和控制。RIE-330iPC还配备了自动晶片传输设备，使同一晶片无需人工干预即可用于多次蚀刻和灰化操作。该系统还具有一个离子调节单元，以尽量减少处理过程中的粒子迁移。这台机器能够处理直径不超过12英寸的晶片，并且设计成适合任何标准晶圆厂环境。SAMCO RIE-330iPC的设计是为了提供更好的蚀刻和灰化速率与最小污染.该工具还提供了最小的基板损坏和残留物在基板上的最小沉积。它还允许快速、方便的工具维护,并在处理过程中快速、方便地交换工具。此外,此资产还提供连续处理功能,用户可以根据需要通过调整压力、温度、方向和蚀刻速度等参数来优化蚀刻过程。总体而言,RIE-330iPC是一种高度先进的蚀刻和灰化模型,具有卓越的性能、可用的工艺控制和最小的污染。它是医疗、电子和材料加工实验室的理想选择，允许用户以最小的底物损伤和残留物沉积，快速、轻松地蚀刻和灰分底物。