二手 SAMCO RIE-330iPC #9412283 待售

SAMCO RIE-330iPC是业界最先进的蚀刻/灰化系统之一,以其高性能和可靠性而闻名。这款蚀刻器/asher可以实现高达2.5µm/min的蚀刻速率，比其他蚀刻系统快大约20倍，同时在100 x 100 mm ²的区域内保持2.5µm的卓越蚀刻精度。RIE-330iPC具有精密的4轴笛卡尔机器人臂和三级智能压力控制设备。它采用切削边缘、深反应性离子蚀刻（DRIE）工艺，非常适合切割和蚀刻有机、陶瓷和无机材料，如Si、SiO2、CNx、Al和聚合物。该系统还提供了广泛的可选功能，如先进的自动聚焦、集成的晶圆处理单元、多气体多压力选择和算法，以及用于检测精细薄膜图桉的强大数字光学显微镜。SAMCO RIE-330iPC拥有与洁净室兼容的外壳,并配有各种高级吸尘泵和其他组件,使其成为高度通用的蚀刻机。此外，它还拥有实时流程监控工具，使用户能够在蚀刻过程中调整流程以获得最佳效果。该资产还可与计算机控制的软件套件一起使用,从而便于设置和管理蚀刻过程。RIE-330iPC还可以运行8000个晶圆/小时,整个晶圆旋转周期只有4分钟。这使得它成为高批量、高速生产线的完美蚀刻模型。该设备还内置了触摸面板用户界面，并附有（ISO 7952）蚀刻食谱的综合库，使其成为极其人性化的系统。总之，SAMCO RIE-330iPC是一个理想的蚀刻和灰化解决方桉，为许多行业，提供了一个强大和可靠的蚀刻单元在一个小巧的，用户友好的包装。它具有超快的蚀刻速率、高精度和全晶圆旋转，非常适合大容量的加工应用。