二手 SAMCO RIE-331iPC #293607298 待售
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SAMCO RIE-331iPC是一种干蚀刻/灰化设备，专门设计用于氧化物薄膜、硅、金属、玻璃等材料的精密蚀刻和灰化。该机器经过精心设计，可提供精确、可重复的结果，同时提供安全、清洁、低气体消耗的工艺。该系统利用一台射频发电机和两个独立的等离子体源，每个源能够提供高达200瓦的功率，创造了一个高效和经济的过程。该单元的设计考虑了用户的安全，具有安全阀门、安全气体关闭、自动疏散等功能的综合安全机器。该工艺室还设计用于确保低压工艺，提供安全的工作环境。另一个特点是原位流程监控，它允许用户实时监控流程参数，调整流程设置以达到所需的效果。该工具还具有很高的灵活性，具有广泛的气体配置和广泛的工艺压力水平，使用户能够使工艺适应被蚀刻或粉刷的材料。该机具有集成的自动气体溷合资产，允许单相和多相蚀刻。该模型还允许高度的过程控制，使用户能够精确编程蚀刻过程。设备还包括真空晶片传输系统，允许用户在进程运行过程中安全、快速地更换晶片。此外,该单元还提供了一些其他功能,使其更加通用和高效,例如自动蚀刻率补偿、自动信息请求、自动气体配方编程以及自动监控和控制过程。RIE-331iPC还提供了一个先进的用户界面，使用户能够以一种简单直观的方式监控和控制过程，用户的输入最少。综上所述,SAMCO RIE-331iPC是一台先进但经济实惠的蚀刻/灰化机,可提供精确且可重复的结果,同时确保用户安全和过程清洁。它具有多种工艺参数和特点，使该工具具有很高的灵活性和效率，而其先进的用户界面使得控制和监控过程变得简单易用。
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