二手 SAMCO RIE-331iPC #9412284 待售

SAMCO RIE-331iPC是一种全自动反应性离子蚀刻（RIE）装置，设计用于各种工业应用的各种基板的精确物理蚀刻。电化学蚀刻过程有助于在晶圆表面上形成高度精确和细腻的图样。RIE-331iPC具有最先进的离子源、高精度晶圆位置传感器和可精确调节基板工艺的自动压力反馈设备。由于其高效的气体分配系统，蚀刻器能够以最小的气体消耗提供控制和一致的蚀刻结果。该蚀刻器适用于蚀刻多种材料基板，包括硅、氧化硅、氮化硅、铜、铜合金、铝、陶瓷和聚合物。它支持蚀刻参数，包括蚀刻时间、压力和气流，以便这些可以针对各种应用或定制过程进行调整。SAMCO RIE-331iPC还配备了自动基板位置检测装置，保证了准确的蚀刻和突出的产量。该装置提供先进的安全措施，如双室面板设计和离子源监测，确保蚀刻过程和维护过程中的安全和可靠性。而且，蚀刻器附带了一个集成的软件包，允许用户轻松地监控和控制机器。总之,RIE-331iPC是一种顶级蚀刻器,非常适合需要高度精确、精细模式的应用程序。SAMCO RIE-331iPC具有易于使用的集成软件、高效的气体分配机、自动压力反馈工具和先进的安全功能,是广泛工业应用的理想工具。