二手 SAMCO UV-300 #293757915 待售
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SAMCO UV-300是由SAMCO Inc.开发的一种蚀刻器和灰化器,为微电子应用提供优越的表面制备。这种独特的SAMCO UV 300型号利用高能紫外线从包括多层薄膜在内的各种表面去除氧化物和污染物。UV-300设计有一个自动感应提升设备,以精确控制蚀刻过程,确保一致均匀的蚀刻深度。该系统采用直观的LCD触摸屏,采用ECD(电子控制显示)功能,可准确设置和显示处理时间,避免敏感基板过度蚀刻的可能性。UV 300还具有高达1.2 GPa的最大压力能力,非常适合准备高温和超低排空应用。SAMCO UV-300的性能优势在于石英和氮化硼窗口的使用,这些窗口可保护暴露的部件,而其惰性使污染最小化。SAMCO UV 300的附加特性包括基板汽化的可调温度控制、42 cm x 42 cm的腔窗尺寸、减少单位热负荷的可选水和氮冷却、优化蚀刻均匀性的精确曝光周期计时以及10-3 Torr的真空。与HyperPrepTM蚀刻掩码等标准模具附件相结合,UV-300提供了最佳的过程一致性和可重复性,同时确保了可靠的设备性能。蚀刻速率是瞬时的,因此不需要面膜清洗步骤,使用户可以轻松实现高设备产量。UV 300的高功率允许更快的吞吐量,减少处理时间,同时保持高质量的结果。SAMCO UV-300是寻求可靠、高效机器的用户的完美蚀刻解决方桉。
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