二手 SAMCO UV-300 #9185106 待售

SAMCO UV-300
ID: 9185106
UV Ozone dry stripper.
SAMCO UV-300是一种最先进的蚀刻器/asher,旨在提供精确和可重复的过程。这种紧凑的设计和灵活的参数可以为各种应用有效地处理基板。高效蚀刻工艺依赖于强大的355 nm UV LED与SAMCO专有技术相结合。SAMCO UV 300的电源为12V DC,调制可通过电压滚落选项调节。全功率时,UV-300可产生约100 mJ/cm2的紫外线辐照度。使用10步旋钮调节可将辐照度从0调整为150mJ/cm2。蚀刻过程通过位于触摸面板上的易于使用的软件进行控制。软件具有多种工艺参数,包括蚀刻深度、曝光时间、紫外线强度、旋转速度和冷却温度。触摸面板可用于从预先编程的蚀刻模板中进行选择,或手动输入自定义流程设置。UV 300具有12x7英寸(18x45厘米)的腔室,外径为12英寸(30厘米)的基板面罩,防止光线直接撞击暴露的基板。面罩可调节至8个高度位置,用于微蚀刻。Asher还具有旋转子驱动器,可调节速度高达5 RPM。基板旋转由三个不同的传感器控制,以确保精确蚀刻。SAMCO UV-300采用安全联锁和排气系统,设计为最大安全。机载惰性气体输送系统还可以为不同的蚀刻要求供应载体、氧气和其他气体。对蚀刻过程的每个步骤进行监控和记录,以确保准确的结果。总体而言,SAMCO UV 300提供了一种可靠、可重复的蚀刻/灰化工艺,可针对各种应用进行定制。简单明了的用户界面、强大的紫外线光源和可调节的参数,使得每次都能提供可靠的结果的高效和安全的蚀刻。
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